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保固期：3個月

模組編號：810-072687-004

產品描述

• LAM Research 810-072687-004 PCB 連鎖控制板是一塊印刷電路板，專門用於控制 LAM Research 蝕刻系統內的連鎖裝置。此控制板透過監控各種連鎖裝置和安全機制，確保蝕刻系統安全運作。
• 此電路板設計用於連接各種感測器、開關和聯鎖裝置，用於監控蝕刻過程的各個環節。這些感測器和開關包括溫度感測器、壓力感測器、流量感測器和聯鎖開關等。
• 此控制板負責監控所有這些設備，確保蝕刻系統在安全範圍內運作。如果任何感測器或開關指示出現問題，控制板將立即停止蝕刻過程，並向操作員發出警報。
• 總體而言，LAM Research 810-072687-004 PCB 連鎖控制板是任何 LAM Research 蝕刻系統的重要組成部分，因為它提供了關鍵的安全機制來保護操作員和設備。

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