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保固期：3個月

模組編號：772-082235-001

產品描述

• LAM Research 772-082235-001 壓力調節閥是一款精密壓力調節閥，專為半導體加工應用設計。
• 它旨在為廣泛的應用（包括蝕刻、沉積和 CVD 製程）提供精確的壓力和流量控制。
• 此閥門具有可調設定點範圍：0 至 10 PSI，最大工作壓力為 30 PSI，最大流量為 5 SLPM。
• 它還配有集成的截止閥以確保安全。
• 該閥門由不銹鋼製成，與半導體加工中使用的大多數常見氣體相容。
  

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